簡要描述：雅馬拓等離子清洗機(jī)V1000：13.56MHz高頻輸出的等離子清洗儀器，搭載RIE·DP雙模式。

雅馬拓等離子清洗機(jī)V1000產(chǎn)品特點(diǎn)：

■操作性·功能

●射頻13.56Mhz0-1000W高功率機(jī)型，DP和RIE標(biāo)配的雙模等離子清洗儀器，可對應(yīng)更多復(fù)雜工藝.

●標(biāo)準(zhǔn)配備電離式真空計(jì)，實(shí)時(shí)顯示真空度，使得控制更為accurate。

●液晶觸摸屏控制，操作使用簡單，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單。

■安全性·保護(hù)

●標(biāo)準(zhǔn)配備真空泄漏檢測功能，可以根據(jù)需要檢查設(shè)備的真空以及泄漏情況。

●裝載有過電流漏電保護(hù)、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標(biāo)準(zhǔn)配備過電流漏電保護(hù)裝置。

●發(fā)生器保護(hù)回路：超負(fù)荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時(shí)，可自動(dòng)調(diào)低頻率來保護(hù)發(fā)生器。

●門鎖開關(guān)：門在未*關(guān)閉時(shí)無法啟動(dòng)電源。

●側(cè)板鎖：本體側(cè)板突然打開或者未關(guān)好時(shí)，會(huì)停止電源。

●緊急停止按鍵（EMO）標(biāo)準(zhǔn)配備。

●當(dāng)裝置發(fā)生異常時(shí)，裝置本體發(fā)出警告信號的同時(shí)，進(jìn)行以下動(dòng)作1）關(guān)閉主閥。（2）關(guān)閉供氣閥。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時(shí)間。（5）聲光報(bào)警

■產(chǎn)品優(yōu)勢

●清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。

●DP&RIE雙模處理，可對應(yīng)更復(fù)雜的工藝。

●搭載高精度適配器，高性能RF電源。

●可變電極構(gòu)造提高等離子處理效果。

●安全保護(hù)措施綿密，有效防止對機(jī)器以及樣品的損害。

●可根據(jù)需求的具體情況提供產(chǎn)品定制服務(wù)。

●硅晶圓的灰化及蝕刻。

●基板表面污垢處理。

●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。

●半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗。

●自然氧化膜·有機(jī)物去除。

●界面活性處理。

●表面污染物去除

雅馬拓等離子清洗機(jī)V1000產(chǎn)品參數(shù)：